Моделирование сверхвысокочастотного микромеханического выключателя (СВЧ МЭМС выключатель) в среде ANSYS HFSS

Основной целью данной работы было определение посредством моделирования оптимальных геометрических размеров и свойств материалов МЭМС для достижения заданных значений потерь (состояние открыто) и затуханий (состояние закрыто).

Работа включала следующие этапы:

  • Создание параметризованной модели.
  • Построение сеточной модели посредством “ручных” настроек.
  • Проведение параметризации с целью определения параметров, оказывающих наибольшее влияние на те или иные характеристики исследуемого устройства.
  • Оптимизация СВЧ МЭМС переключателя с использованием результатов параметризации, с целью получения заданных характеристик устройства.
  • Исследования с целью определения влияния габаритов корпуса на характеристики анализируемого устройства.
  • Анализ влияния материалов крышки на характеристики устройства.
  • Определение характеристик устройства при каскадировании.

 

  • Исследование влияния шероховатости поверхностей проводников на потери в рабочей полосе частот.
  • Моделирование влияния толщины и диэлектрической проницаемости материала изолирующей прокладки.
  • Определение потенциально возможного рабочего диапазона частот при заданных значениях Ксв, потерь и запирания.

Заключение.

Была проведена большая работа по моделированию СВЧ МЭМС выключателя определённой конструкции. Заказчику были предложены варианты исполнения, удовлетворяющие ТЗ, а также другие результаты работы задающие вектор для дальнейшей работы по усовершенствованию данной линейки устройств.