Основной целью данной работы было определение посредством моделирования оптимальных геометрических размеров и свойств материалов МЭМС для достижения заданных значений потерь (состояние открыто) и затуханий (состояние закрыто).
Работа включала следующие этапы:
- Создание параметризованной модели.
- Построение сеточной модели посредством “ручных” настроек.
- Проведение параметризации с целью определения параметров, оказывающих наибольшее влияние на те или иные характеристики исследуемого устройства.
- Оптимизация СВЧ МЭМС переключателя с использованием результатов параметризации, с целью получения заданных характеристик устройства.
- Исследования с целью определения влияния габаритов корпуса на характеристики анализируемого устройства.
- Анализ влияния материалов крышки на характеристики устройства.
- Определение характеристик устройства при каскадировании.
- Исследование влияния шероховатости поверхностей проводников на потери в рабочей полосе частот.
- Моделирование влияния толщины и диэлектрической проницаемости материала изолирующей прокладки.
- Определение потенциально возможного рабочего диапазона частот при заданных значениях Ксв, потерь и запирания.
Заключение.
Была проведена большая работа по моделированию СВЧ МЭМС выключателя определённой конструкции. Заказчику были предложены варианты исполнения, удовлетворяющие ТЗ, а также другие результаты работы задающие вектор для дальнейшей работы по усовершенствованию данной линейки устройств.